慶長年間（１５９６～１６１４）に実相院日玖が創建したと伝えられています。実相院日玖は元気で充実した年頃に日常のつきあいを断ち、法宣寺十四世恵性院日親の弟子となり、修行し、法華経を読すること４０年、一万二千余巻におよんだ。
福山藩主・水野勝成殊勝に願い、寛永の末（１６４４年頃）今の地を賜い、三人扶持十一石を賜る。
福島正則の改易に伴い、水野勝成が１６１９（元和５）年、備後１０万石の領主となって入府。福山と命名して福山城を築いて以来、芦田川河口のデルタを開拓、治水工事とともに城下町として整備した。
勝成は秀忠から郡山に替わって備中西南部と備後南部の福山１０万石を与えられる。