戦国時代に八王子を中心とした大石定久公（八王子滝山城主）の統治により、心源院、天應院等が季雲永嶽大和尚を開山にして、明応４年に建立されたと考えられます。
虚空蔵菩薩を本尊とし、９石７斗の御朱印を賜り、５世太蔭師の時代、北条氏照の娘貞心尼を中興開基として、明応４年(１４９５)に当地に中興開山したと伝えられます。
徳川家光の養育役であった青山忠俊により再中興されています。明治時代には、当地に麻溝小学校の前身にあたる下溝学校を開校、また下溝の松原集落にあった薬師堂を当地に移転、この薬師は関東九十一薬師霊場１９番です。